溶液成分夏操作條件（jiàn）對蝕刻速度的影響：溶液蝕刻，蝕刻注意事項

　　(1)FeCL3濃度對（duì）蝕刻速度的影響：FeCL3蝕刻液中隨（suí）FeCL3濃度的增高，蝕刻速度加速。當所含FeCL3超過某一濃度時，因為溶液黏度添加（jiā），蝕刻速度反而有所下降。關（guān）於選（xuǎn）用抗蝕印料或（huò）抗蝕幹膜的銅零件，濃度可控製在35。B6左右（yòu）;選用液體（tǐ）光致抗蝕劑(如骨膠（jiāo）、聚乙烯醇等)的銅零件，濃度町擰製在42。B吾左右。通常情況下控製在350g/L一600呂/L為宦（huàn）。Feel，溶液的濃度範嘟及（jí）質量分數和相對密度的聯係。

　　(2)鹽酸的添加量對蝕刻速度的影響：在蝕刻液中參加鹽酸，一則能夠抑製Fecl3和cucl，的水解;二則可（kě）進步蝕刻（kè）速度。特別足當蝕刻（kè）液巾鍘禽量達到37.4∥J.後+赫酸的效果更加明顯。但這應根據不同的抗蝕層材（cái）料挑選適宜的酸度，假如抗蝕層選用骨膠、明膠、聚乙烯醇等光致抗蝕劑，則不能（néng）選用太高的酸度，否則，抗蝕層易於被（bèi）損壞。關於（yú）感（gǎn）光（guāng）樹脂抗蝕劑及絲網日（rì）J刷抗蝕層，則能夠挑選較高的酸度。
        

　　(3)溫度對蝕刻速度的影響：在hcl，蝕刻工藝中，隨溫度的添加，蝕刻速度亦加速，比如當（dāng）溫度在50℃時，全新蝕刻液（yè）對銅的（de）蝕刻速度叮達10“nI/n-訪：似在實踐爿：產中，都（dōu）是選用常（cháng）溫蝕刻方法。Fecl，對銅的蝕刻是一（yī）個放熱反應，跟著蝕劃的進行，蝕刻液（yè）溫度會逐步升高，蝕著4速淒加速。跟著FecL3的消耗，蝕刻速度也會下降。一起這一（yī）溫升進程也比較（jiào）緩慢，所以在整個蝕刻進程中蝕刻速度改變不大。

　　(4)拌和對蝕刻速度的影響：靜止蝕刻的速度和蝕刻質量都是比較差的。這是風為（wéi）在蝕刻進程中.一方麵被（bèi）蝕刻銅袁麵和蝕刻液中都會有沉漣生成，影響了銅的正常蝕刻：另一方麵，銅在蝕刻進（jìn）程中，被蝕刻外表的溶液會（huì）逐步出現暗綠色，這（zhè）表明在設蝕刻外表的Fec】，已跟銅發生了氧化還原反應而失掉r氧化（huà）才能。如但靠蝕（shí）刻液葉J n”的自身運動（dòng）無法對被蝕刻外表的及時彌補，而使蝕刻速度變慢。這就是（shì）所說的濃（nóng）差極化，即n“的運動速度跟不上Fe“被消耗的速度。

　　假如對（duì）蝕刻（kè）液進行拌（bàn）和或選（xuǎn）用噴（pēn）淋等（děng）蝕刻方法，則能夠加速Fe“的運動速度，使被蝕刻外表（biǎo）的Fe”能敏捷得（dé）到彌補，則能（néng）使蝕刻速（sù）度加速。如糶選用壓縮空氣拌和不但能進步蝕刻速度進町（dīng）以使蝕剡液得到（dào）在生，延伸蝕刻液的使（shǐ）用壽（shòu）命。但是（shì），需適當彌補鹽酸

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