在環保法規趨嚴的背景下，蝕刻工（gōng）藝的綠色化轉型成為行業共（gòng）識，技術革新正從原料替代、廢料回收及工藝優化三個維度推進。

傳統幹法蝕刻中使用的全氟化合物（PFCs）因其強溫室效應備受詬病。氯基氣體與氮氣的混合使用成為替代方案之（zhī）一，在矽材料蝕刻過程中，氯離子與（yǔ）矽反應（yīng）生成揮發性（xìng）產物（wù），而氮氣的摻（chān）入可在側壁形成氮化矽鈍化層（céng），抑製橫向腐蝕。這一技術路徑（jìng）不僅減少溫室氣體排放，還能（néng）通過調整氣體比（bǐ）例實現更精細（xì）的結構控製。

濕法蝕刻的廢液處理係統通過多級工藝實現（xiàn）資源回收。離子交換樹脂選擇性吸附廢液中的銅、鎳等重金屬離（lí）子，電滲析技術則（zé）利用（yòng）電場驅動（dòng）離子通過選擇性滲（shèn）透膜（mó），實現酸液的再生（shēng）回用。固態蝕刻技術的探索（suǒ）進一步減少了對液態化學品的依賴，超臨界二氧化碳作為載體溶解反應活性物質（zhì），在高壓（yā）條件下（xià）滲透材（cái）料表麵完成選擇性（xìng）腐蝕。該方法（fǎ）尤（yóu）其適用於有（yǒu）機聚合物或生物相容性（xìng）材料的加工（gōng），避免（miǎn）廢水產生（shēng）。

工藝（yì）參數的智能（néng）化（huà）調控是另一降耗方向（xiàng）。傳（chuán）感器網絡實時監測（cè）蝕刻槽的溫度、濃度及流速，結合機器學習算法預（yù）測最（zuì）佳工藝窗口，減少試錯性生產帶來的（de）資源浪費。閉環控製係統可動態調整蝕刻液補充量，維（wéi）持反應體係的穩定性，延（yán）長溶液（yè）使用壽命。