不（bú）鏽（xiù）鋼蝕刻通（tōng）過化（huà）學或物理方法去除材料表麵特（tè）定區域。主要使用氯化（huà）鐵溶液作為蝕刻劑，濃度（dù）控製在28%-42%之（zhī）間。溫（wēn）度（dù）維持在40-50℃可保證蝕刻速率穩定在0.05-0.12mm/分鍾。掩膜材料選用耐（nài）酸油墨或（huò）光致抗（kàng）蝕劑（jì），最小線寬精度可達0.1mm。

　　工藝流（liú）程（chéng）

　　前（qián）處理

　　基（jī）材經（jīng）脫脂清洗後噴砂處理，表（biǎo）麵粗糙度控製在Ra0.8-1.6μm。采用堿性溶液去除氧（yǎng）化層，處理時間8-12分鍾。

　　圖形轉移（yí）

　　網印或曝光顯影方式施加掩膜（mó），紫（zǐ）外固化能量需達到800-1200mJ/cm²。高精度圖案采用激光（guāng）直接成像技術（shù）。

　　蝕刻（kè）加工

　　三氯化鐵溶液循環噴淋，壓力0.2-0.4MPa。深度控製通（tōng）過時間調節，每10μm厚度需3-5分鍾。側蝕（shí）率控（kòng）製在15%-20%。

　　後處理

　　中和殘留酸液後鈍（dùn）化處理，使用硝酸溶液濃度20%-30%。最後進行水洗烘幹，水分殘留量≤0.1mg/cm²。

　　應用領域

　　電（diàn）子（zǐ）設備：射（shè）頻屏蔽罩開（kāi）孔率35%-60%

　　醫療器械：手術器械標識深度0.05-0.1mm

　　建築裝飾：鏤空麵板孔徑公差±0.05mm

　　工業設備：濾網孔（kǒng）隙精度±0.02mm

　　質（zhì）量控製（zhì）

　　測量工（gōng）具包（bāo）括輪廓儀和三（sān）維顯微鏡。鹽霧測試標準96小時無腐蝕。厚度檢測采用渦流測厚儀，允許偏差±5%。圖形（xíng）完整性檢查使用（yòng）CCD自動檢測係統。

　　技（jì）術參數對比

　　指標（biāo）化（huà）學蝕刻激光蝕刻加工厚度（dù）0.1-3mm0.05-1mm加工速度中等快（kuài）最小線寬0.1mm0.05mm設備成本低高適合批量（liàng）大批量小（xiǎo）批量