不鏽鋼（gāng）蝕（shí）刻工藝流程（chéng）分解

　　基材預處理

　　脫（tuō）脂（zhī）：堿（jiǎn）性溶液浸泡，溫度50±2℃，時間3-5分鍾（zhōng）

　　水洗：三級逆流漂洗，電導率≤50μS/cm

　　烘（hōng）幹：熱風循環，風速2m/s，表麵殘留水分<0.1mg/cm²

　　圖形轉移

　　塗布：感光膠厚度10-15μm，均勻度偏差±1.5μm

　　曝光：365nm紫外線，能量300-500mJ/cm²

　　顯影：碳酸鈉溶液濃度1.0%，噴淋壓力（lì）0.2MPa

　　化（huà）學蝕刻

　　蝕刻液：三氯化鐵濃度28-32Be'

　　溫度控製：40±1℃

　　傳送速度：0.8-1.2m/min

　　蝕刻因子：1.5-2.0(深度/側蝕量（liàng）)

　　後處理

　　退（tuì）膜：氫氧化鈉溶液濃度5%，溫（wēn）度60℃

　　鈍化：硝酸濃度20%，時間30秒（miǎo）

　　幹燥：壓縮（suō）空氣吹掃，殘留液滴直徑≤2mm

　　關鍵參數控製標準

　　控製項304不鏽鋼（gāng）316L不鏽鋼蝕刻（kè）速率0.03mm/min0.02mm/min側蝕量≤0.05mm≤0.04mm表麵粗糙度Ra1.6μmRa1.2μm尺寸公差±0.03mm±0.02mm

　　質量檢測方法

　　尺寸測量：二次元影像儀，重複精度±1μm

　　深度檢測：激（jī）光共聚焦顯微鏡，Z軸分辨率0.01μm

　　成分分（fèn）析：EDX能譜儀，檢測Cr/Ni含量變化

　　鹽霧測試：ASTM B117標準，500小時觀測

　　典型應用數據

　　電子屏蔽罩：厚度0.15mm，孔（kǒng）徑0.25±0.01mm

　　醫療導板：蝕刻深度0.3mm，位置精度±0.02mm

　　建築裝飾板：通孔率40±2%，平整度≤0.1mm/m²