不鏽鋼蝕刻(kè)工藝(yì)流程

不鏽鋼蝕刻工藝流(liú)程主要分為以(yǐ)下幾個階段,依據材(cái)料類型和加工要求存(cún)在(zài)細節差異:
一、表麵預處理
清除不鏽鋼(gāng)板表麵油汙(wū)、氧化層及雜質(zhì)。堿(jiǎn)性脫脂劑浸泡(濃度8%-10%,溫度50-60℃,時長15-20分鍾),高壓(yā)水衝洗;頑固氧化層采用10%硝酸溶液浸泡5-8分鍾(zhōng),去離子水衝洗至中性。預處理後無塵烘(hōng)幹,表麵粗糙度控製Ra≤0.8μm。
二(èr)、掩膜製(zhì)作與圖(tú)案轉印
塗覆抗蝕層:
絲網印刷:適用於線寬≥0.3mm圖案,300-400目絲網,膠膜厚20-30μm。
光刻(kè)工藝:精密圖案采用旋塗法(轉速(sù)1200-1500rpm),膠層厚5-8μm。
曝光顯影(yǐng):紫外(wài)光固化(能量密(mì)度80-120mJ/cm²),碳酸鈉溶液顯(xiǎn)影(濃度1%-2%,溫度30-35℃)。後(hòu)烘增強耐蝕性(xìng)(110-120℃/30分鍾,硬度達4H鉛筆標準)。
三、蝕刻處理
濕(shī)法蝕刻(kè)(主(zhǔ)流工藝):
蝕刻液:三氯化鐵混合液(FeCl₃濃度30%-40%,HCl濃度5%-8%);或氯化鐵鐵係蝕刻液(含緩蝕劑、絡合劑)。
參數:溶(róng)液溫(wēn)度40-50℃,噴淋壓力(lì)0.15-0.25MPa,傳送帶速度0.8-1.2m/min。
深度(dù)控製:裝飾(shì)件0.05-0.15mm,工業零(líng)件(jiàn)0.2-0.5mm。
幹法蝕刻(高精度(dù)需(xū)求):等離子體或離子束定向蝕(shí)刻,用於微米(mǐ)級加工。
四、後處理
去膜清洗:堿液退除抗蝕膜(氫氧化鈉溶(róng)液40-60g/L,溫度50-80℃),去離子水衝洗。
鈍化防鏽:鉻酸鹽鈍化處理增強(qiáng)抗氧化性。
表麵(miàn)修飾:選擇性進行拋(pāo)光、電鍍或(huò)著色處理。
五、質量檢測
光學(xué)顯微鏡或SEM檢查圖案(àn)精度(線(xiàn)寬偏(piān)差<5%),確認蝕刻深(shēn)度及表麵(miàn)無損傷(shāng)。
工藝選擇依據:
批量生產:濕法蝕刻(kè)成本低,適合304不鏽鋼。
精密零件:幹法蝕刻或光刻工藝用於316不鏽鋼微米(mǐ)級加工。
環保(bǎo)要求:幹法蝕刻避免化學廢液,濕法需管(guǎn)控廢水處理。
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