不鏽鋼蝕刻技術（shù）的具體工藝流程如下：

　　一、不鏽鋼蝕刻前處理

　　除油清洗‌

　　使用堿性（xìng）溶液(氫氧化鈉100-150g/L+碳酸鈉100g/L+磷酸鈉50-100g/L)浸泡去（qù）除表麵油脂與汙染物。

　　電（diàn）解（jiě）除油增強（qiáng）清潔效果，水溫（wēn）控製在50-80℃。

　　不鏽鋼（gāng）蝕刻表（biǎo）麵活化‌

　　酸洗去除氧化層，常用鹽酸或混合酸（suān）液（yè）(如HCl+HNO₃)處理。

　　退火處理改善金屬晶格結構(銅（tóng）材退火溫度300-500℃)。

　　幹燥（zào）‌

　　無塵環境烘烤或氮氣（qì）吹掃，確保表麵無水（shuǐ）分殘留。

　　二、掩膜製作

　　塗覆（fù）抗蝕劑‌

　　光敏（mǐn）抗蝕劑通過旋塗(轉速控製厚度)或噴塗覆蓋基材，厚度5-25μm。

　　幹膜抗蝕（shí）劑厚度15-30μm，前烘（hōng）溫度80-100℃去除溶劑。

　　曝光（guāng）顯影‌

　　紫外光（guāng）(波長365nm)通過膠片掩膜曝光，能量10-30mJ/cm²。

　　碳酸鈉溶（róng）液溶解未曝光區域，形成鏤空圖案。

　　三、蝕刻成型

　　化學蝕刻‌

　　三氯（lǜ）化鐵溶液(濃度28-42Be°)或HCl+HNO₃混合液，溫度40-50℃。

　　蝕刻（kè）速率約12μm/min，噴淋壓（yā）力（lì）控製均勻性（xìng）。

　　物理蝕刻‌

　　等離子體蝕刻(CF₄/O₂氣體)或激光蝕刻實現微米級精度。

　　四、後處理

　　去膜清洗‌

　　氫（qīng）氧（yǎng）化鈉溶液(40-60g/L，溫度50-80℃)浸泡去（qù）除抗蝕劑（jì）。

　　丙酮或氧（yǎng）等離子體清除殘留膠膜。

　　表麵精整‌

　　電解拋光或機械拋光(砂紙600-2000目)改善（shàn）粗糙度。

　　鈍化處理(硝酸/檸檬酸溶液（yè）)提升防鏽性。

　　功（gōng）能性處理‌

　　電鍍(鍍金/錫)增強導電性，或染色實現裝飾效果。

　　五、質量檢測

　　二次元影像測量儀驗證公差（chà）(常規±0.05mm，精密±0.01mm)。

　　SEM/AFM檢查邊緣（yuán）粗糙（cāo）度(目標Ra≤0.1μm)。

　　流程要點：

　　材料適用性（xìng）‌：304/316L不鏽鋼需調整蝕刻液配方(如SUS312L用混酸)。

　　環保措施‌：閉環係統回（huí）收95%以上金屬離子，生物降解型蝕刻劑pH=2.5-3.5。

　　缺（quē）陷控（kòng）製‌：藥液比重實時監測防止過蝕，退膜後酸洗消除氧化殘留。