工藝原理

　　五金蝕刻通過化學溶液與金屬反應實（shí）現材料去除。金屬工件經預處理後覆（fù）蓋耐（nài）腐蝕膜層，通過曝（pù）光顯影（yǐng）形成圖案窗口，暴露區域在蝕刻液中發生氧化還（hái）原反應，未保護（hù）區域被選擇性溶解。

　　工藝流（liú）程

　　前處理 金屬板材進行脫脂清洗，采用堿性溶液去除表麵（miàn）油汙。噴淋或浸泡方式清除氧化物層，流（liú）水線作業保（bǎo）持表麵清潔度。

　　塗覆 旋轉塗（tú）布機均勻覆蓋光致抗蝕劑，膜厚（hòu）控製在5-25微米範圍。烘箱分段升溫固化，溫度梯度維持在60-120℃區間。

　　曝光 紫外光源通（tōng）過菲林模板（bǎn）照射，曝光（guāng）能量維持在80-120mj/cm²。正性膠受光區（qū）域發生光分解反應，負性膠形成（chéng）交聯結構。

　　顯（xiǎn）影 碳酸鈉溶液溶解未固化膠膜，噴淋壓力保持在0.15-0.3MPa。水溫（wēn）控製在（zài）30±2℃，顯影時間30-90秒。

　　蝕刻 三氯化鐵溶液濃度維持在28-42Be°，溫度保持40-50℃。傳送（sòng）帶速度0.8-1.5m/min，蝕刻深（shēn）度誤（wù）差±0.01mm。

　　去膜 氫氧化鈉溶液濃度3-5%，溫度60-70℃。超聲波輔助（zhù）去除殘餘膠膜，時間控（kòng）製在3-5分鍾。

　　後處理 中和殘留酸液後進行鈍化處理，純水（shuǐ）電阻率（lǜ）需（xū）大（dà）於15MΩ·cm。熱風幹燥溫度不（bú）超過（guò）80℃。

　　參數控製

　　蝕刻（kè）速率：0.01-0.05mm/min

　　側蝕（shí）控製：1:0.8-1.2

　　最小線寬：0.05mm

　　厚度公差：±5%

　　應用領域

　　電子元（yuán）件引線框架加工，金（jīn）屬標牌製（zhì）作，精密濾網生產，醫療器械部件製造（zào），汽車傳（chuán）感器元件加工。