蝕刻行業的環（huán）保（bǎo）壓（yā）力驅動技術革新，從無害化替代到資源循環，綠色工藝（yì）正重塑產業生態。

環保蝕刻液替代方案

• 無氟（fú）蝕刻（kè）技（jì）術：銅蝕刻采用H₂O₂/檸檬酸體係替代FeCl₃，COD排放（fàng）降低85%，廢液（yè）可生物（wù）降解。

• 中性蝕刻液開發：鋁蝕刻使用Na₂CO₃/NaNO₃溶（róng）液（pH 7-8），避免強酸霧（wù）揮發（fā），工人操作環境達（dá）標（biāo）率100%。

廢料資（zī）源化路徑

• 銅蝕刻（kè）液再生：電（diàn）解回收係統從廢液中提取金屬銅（純度99.9%），回（huí）收率＞90%，年節省原料成本200萬元（某PCB廠數據）。

• 矽屑回收利用：幹法蝕（shí）刻矽屑經提純後用（yòng）於光伏矽錠生產，資源利用率從60%提升（shēng）至95%。

節能設備創新

• 低溫（wēn）等離子體（tǐ）蝕刻：ECR源將腔體溫度從80℃降（jiàng）至40℃，能耗降低35%。

• 餘熱回收係（xì）統：蝕刻設備冷卻（què）水熱量用於工廠供暖，年減碳500噸。