技術定義與原理（lǐ）

　　蝕刻加工是通過化（huà）學（xué）溶液選擇性溶解金屬的減材製造工藝。該技術可（kě）實現0.01mm的加工精度，適用於厚度0.05-3.0mm的金屬板材。主要反應機理為氧化（huà）還（hái）原反應，以三氯化（huà）鐵蝕刻不鏽鋼為例，其化學反應式為：Fe + 2FeCl₃ → 3FeCl₂。

　　核心工（gōng）藝（yì）流程（chéng）

　　前處理（lǐ）階段

　　堿性脫脂：采（cǎi）用5%NaOH溶液，溫度60℃，處理時間3-5分鍾

　　酸洗活化：10%硫酸溶液（yè）浸泡，去除表麵氧（yǎng）化層

　　水洗要求：電導率≤50μS/cm的純（chún）水衝洗

　　圖形轉（zhuǎn）移

　　光刻膠塗布（bù）：幹（gàn）膜（mó）厚度20±2μm，液態膠厚度15-25μm

　　曝光參（cān）數：UV波長365nm，能量80-120mJ/cm²

　　顯影（yǐng）條件：1%碳酸鈉溶液，溫度30±2℃
       蝕刻加工

　　不鏽鋼蝕刻：FeCl₃溶液濃（nóng）度28°Bé，溫度28±1℃

　　蝕刻速率（lǜ）：0.08-0.12mm/min(視材（cái）料而定)

　　深度控製：采用實時監測係統，精度±0.005mm

　　後處理工序

　　脫膜處理：5%NaOH溶液，溫度50℃

　　表麵處理：可選電鍍、鈍（dùn）化或噴砂

　　最終檢驗：二次元測量儀精度0.001mm

　　關鍵技術指標（biāo）

　　參數不鏽鋼加工鋁合金加工銅材加工最小（xiǎo）線寬（kuān）0.1mm0.15mm0.05mm蝕刻錐度15-20°20-25°10-15°表麵粗糙度Ra0.4μmRa0.8μmRa0.3μm日產能120㎡150㎡100㎡

　　工業應用案例

　　電子行（háng）業

　　柔性電路板：最小線寬0.03mm

　　手機金屬網：開孔率42%，公差±0.01mm

　　半導（dǎo）體引線（xiàn）框：厚度0.1mm，精度±0.002mm

　　汽車製造（zào）

　　燃油噴嘴：孔徑0.2mm，圓度≤0.005mm

　　電池極片：厚度0.05mm，毛刺（cì）≤0.01mm

　　裝飾標牌：表麵蝕刻深度0.15mm

　　醫療器械

　　手術器械：316L不（bú）鏽鋼，無菌處理

　　植入網格：孔徑0.3mm，孔隙率60%

　　微（wēi）流（liú）控芯片：通道寬度0.05mm

　　質量檢測標準

　　尺寸檢測：符合ISO 2768-mK級

　　鹽（yán）霧測試：通過（guò）GB/T 10125 500小時

　　力（lì）學性能：滿足ASTM E8/E8M標準

　　清潔度：顆粒物≤5mg/㎡(VDA19)

　　經濟性分析（xī）

　　模具成本：傳統（tǒng）衝（chōng）壓的（de）5-10%

　　材料利用率：較（jiào）衝壓（yā）提（tí）高25-30%

　　交（jiāo）貨周（zhōu）期：縮短（duǎn）60-70%

　　小批量成本：降低40-50%

　　環境管理

　　廢液處理：金屬回收率≥95%

　　能耗（hào）指數：0.8kWh/㎡

　　廢水排（pái）放：符合GB 8978-1996標準（zhǔn）

　　職業健康：作業（yè）區FeCl₃濃度（dù）≤1mg/m³