一、原理

　　其基本原理是運用化學感光資料的光敏特性, 在基體金屬基（jī）片雙麵均勻塗敷感光資料（liào）選用光（guāng）刻辦法（fǎ）, 將膠膜板上柵網產（chǎn）顯形狀精確地複製到金屬基片雙麵的感光層掩膜上通過顯影去掉未感光有（yǒu）些的掩膜, 將暴露的金屬有些在後（hòu）續的加工中與腐蝕液直接噴（pēn）壓觸摸而被蝕除, 最終獲取所需的幾（jǐ）何形狀及高精度尺度的商品技能精密五金蝕刻技能。

　　二、局限

　　精密五金蝕刻技能是運用（yòng）特定的溶液與薄膜間（jiān）所（suǒ）進行的化學反響來去掉薄膜（mó）未被光阻覆蓋的有（yǒu）些，而抵達精密五金蝕刻的目的，這（zhè）種精密五金蝕刻辦法也即（jí）是所謂的濕式精密五金蝕刻。由於濕式精密（mì）五金蝕（shí）刻（kè）是運用化學反（fǎn）響來進行薄膜的去掉，而化學反響自身不具方向性，因而濕式精密五金蝕刻進程為等向性（xìng），一般（bān）來（lái）說此辦（bàn）法不足以界說3微米以下的線（xiàn）寬，但對於3微米以上的線（xiàn）寬（kuān）界說濕（shī）式精密五金蝕刻仍（réng）然為一（yī）可（kě）挑選選用的技能。
       

　　三、濕式精密五金蝕刻的長處

　　低成（chéng）本（běn）、高可靠性、高產能及優勝的精密五（wǔ）金蝕刻挑選比。但相（xiàng）對於（yú）幹式（shì）精密五金蝕刻（kè），除了無法界說較細的線寬外，濕式精密五金蝕刻仍有以下的缺點：1) 需花費較高成本的反響溶液及去離子水;2) 化學藥品處理時人員（yuán）所遭受的安（ān）全問題;3) 光阻附著性問題;4) 氣泡構成及化學（xué）精（jīng）密五金蝕刻液無法徹（chè）底與晶圓外表觸摸所形成的不徹底及不均勻的精密五（wǔ）金蝕刻;5) 廢氣及潛在的爆炸性。

　　濕式精密五金蝕刻進程可分為三個過程：1) 化學精密（mì）五金蝕刻液分散至待精（jīng）密五金蝕刻資料之外表;2) 精（jīng）密五金蝕刻（kè）液與待精密五金蝕刻資料發作化學反響; 3) 反響後之產品從精密五金蝕刻資料（liào）之外表分散至溶液中，並隨溶液排出(3)。三個過程（chéng）中進行最慢者為速率操控過程，也即是說該過程的反響速率即為全部反響之速（sù）率。

　　四、濕式（shì）精密五金蝕刻的速率

　　通（tōng）常可藉由改動溶液濃度及溫（wēn）度予以操（cāo）控。溶液濃（nóng）度（dù）可改動反響物質抵達及脫離待（dài）精密五金蝕刻物外（wài）表的速率，一般（bān）來說，當溶（róng）液濃度（dù）添加（jiā）時，精密五金蝕刻速率將會進步。而進步溶液溫度可加快化學反響速率，進而加快精密五金蝕刻速率。

　　除（chú）了溶液的選用外，挑（tiāo）選（xuǎn）適用的屏蔽物質亦（yì）是十分重要的，它必須與待精密五金蝕刻資料外表（biǎo）有極好的附著性（xìng）、並能接受精密五金蝕刻溶液的腐蝕且安穩而不蛻變。而光阻通常是一個極好的屏蔽資料，且（qiě）由於其圖案轉印過（guò）程簡單，因而常被運用。但（dàn）運用光阻作為屏蔽資料時也會發（fā）作邊際剝離或龜裂的景象。邊際剝離乃由於精密五金蝕刻溶液的腐蝕，形成光阻與基材間的黏著性（xìng）變差所造成的。處理的辦法則可運用黏著促進劑來添加光阻與基材（cái）間的黏著（zhe）性，如Hexamethyl-disilazane (HMDS)。龜裂則是由於光阻與基（jī）材間的應力（lì）區別太大，減緩龜裂的辦法可運用較（jiào）具（jù）彈性的屏蔽原料來吸收兩者間的應力差。

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