1.不鏽鋼（gāng）蝕刻 基材預處理

　　脫脂清洗：采用堿（jiǎn）性溶液(pH≥12)浸泡8-12分鍾，去（qù）除表麵油汙

　　酸洗鈍化：硝酸溶液(濃度20%)處理5-8分鍾，清除氧化層

　　表麵（miàn）檢測：白熾燈（dēng）下檢查無劃痕、凹坑，粗糙度≤Ra0.8μm

　　2. 圖形轉移

　　塗布感光膠：噴塗厚度3-8μm，80℃烘烤15分鍾

　　激光曝光：LDI設備精度±2μm，能量（liàng）控製在300-500mJ/cm²

　　顯影處理：碳酸鈉溶液(5%)噴淋顯影，壓力0.2-0.3MPa

　　3. 化學蝕刻

　　不鏽鋼（gāng）蝕刻液配（pèi）方：

　　不鏽鋼：HCl基溶（róng）液(溫度40±2℃)

　　銅材：FeCl₃溶液(濃度28%-32%)

　　工藝參數：

　　流速1.5-2m/s

　　蝕（shí）刻速率（lǜ）0.02-0.05mm/min

　　深度公差±5%

　　4. 後（hòu）處理工序

　　去膜：氫氧化鈉溶液(8%)60℃浸泡（pào）5分鍾

　　中和：檸檬酸溶液(3%)循（xún）環衝洗

　　幹燥：壓縮空氣吹掃+80℃熱風烘幹

　　5. 質量檢測

　　項目檢測方法標（biāo）準要求尺寸精（jīng）度二次元影像儀公（gōng）差±0.015mm表麵質量100倍顯微鏡（jìng）無毛刺（cì）、殘膠耐腐蝕性鹽霧試驗48小時無鏽蝕（shí）現（xiàn）象附著力3M膠（jiāo）帶剝離測試無塗層脫落

　　6. 設備配置（zhì）清單

　　預處理線：超聲波清洗機+酸洗槽

　　圖形線（xiàn）：塗布機+LDI曝光機

　　蝕刻線：鈦合金蝕刻槽+循環過濾係統

　　檢測設備：輪廓儀+金相顯微鏡