不鏽鋼蝕刻工藝流程

　　1 材料準備

　　選用304或316不鏽鋼板 厚度範圍0.05-3.0mm 表麵粗（cū）糙度要（yào）求Ra≤0.8μm

　　2 前處（chù）理工序

　　堿洗脫脂：NaOH溶液濃（nóng）度5% 溫度50±5℃ 處理（lǐ）時間8-12分鍾 酸洗鈍化：HNO3溶液濃（nóng）度15% 室溫處理5分鍾

　　3 圖形（xíng）轉移

　　塗布感（gǎn）光膠：厚度8-15μm 預烘溫度80℃ 時間（jiān）15-20分鍾 曝光能量：300-500mJ/cm² 顯影液：Na2CO3溶液1% 壓力0.2MPa 時間3-5分鍾

　　4 化學蝕刻

　　蝕刻液成分：FeCl3 30% HCl 5% 溫度控製：40±2℃ 蝕刻速率：0.02-0.05mm/min 溶液循環：流速1.5m/s

　　5 後處理

　　去膜（mó）：NaOH溶液5% 溫度60℃ 時間5分鍾 中和：檸檬酸溶液3% 純水衝（chōng）洗：電導率≤10μS/cm 幹燥：熱風80℃ 時間10分鍾

　　技術參（cān）數（shù）

　　項目標準值公差範圍線（xiàn）寬0.1mm±0.015mm深度0.2mm±5%位置度（dù）-±0.02mm粗糙度（dù）Ra0.4μm+0.2μm

　　設備配置

　　蝕刻槽：PP材質 容積1000L 加（jiā）熱功率15kW 過濾（lǜ）精度5μm 廢氣處理：二級噴（pēn）淋塔