五金蝕刻工藝技術流程（chéng）

　　金（jīn）屬預處理

　　金屬（shǔ）板材經剪裁後進入清洗線。厚度0.1-2.0mm的304不鏽鋼板在堿（jiǎn）性脫脂槽浸泡3分鍾（zhōng），溶液溫度60℃，濃度5%。水洗後測量（liàng）表麵張力需達40mN/m以上。板材平整度使用激光檢測儀（yí）校驗，允許公差±0.3mm/m。

　　圖形轉移

　　塗布工序：

　　正性感光膠（jiāo）通過狹縫塗布機均（jun1）勻覆蓋，濕膜厚度25±5μm。傳送帶（dài）速度1.5m/min，80℃熱風循環烘幹15分鍾。

　　曝光參數（shù）：

　　紫外線強度15mW/cm²，曝光時間45秒。真空吸（xī）附平台確保底片與板材間隙<0.1mm。

　　顯影控（kòng）製：

　　1%碳酸鈉溶液噴（pēn）淋（lín）顯（xiǎn）影，壓力0.15MPa，溫度25±1℃。顯影後線寬偏差≤±0.02mm。

　　化學（xué）蝕刻

　　三氯化鐵蝕刻係統包含以下單元：

　　溶液循（xún）環（huán）：濃度維持38±2波（bō）美度，流量8m³/h

　　溫（wēn）度控製（zhì）：45±2℃恒（héng）溫槽，鈦合（hé）金加熱管（guǎn）

　　噴淋壓力：0.3MPa扇形噴嘴，覆蓋均勻度>90% 蝕刻速（sù）率18μm/min，深度通過時間控製，每30秒取樣檢測。

　　後處理工序

　　脫膜：5%氫氧化鈉溶液60℃浸泡，時間3±0.5分（fèn）鍾

　　中和：檸檬酸溶液（yè）pH值調節（jiē）至6.5-7.5

　　鈍化：鉻酸鹽鈍化液浸泡120秒，形成0.5μm防護層

　　檢測：白光（guāng）幹涉儀測量深度，CCD視（shì）覺係（xì）統檢查圖形完整性

　　工藝能力指標

　　項目參數範圍最（zuì）小線寬0.05mm深度公差±0.01mm板材厚度（dù）0.03-3.0mm蝕刻斜度（dù）1:0.8-1:1.2日產量120-150㎡

　　廢（fèi）液處理（lǐ）

　　蝕（shí）刻廢液經（jīng）三級處理：

　　酸堿中和：調節pH至（zhì）6-9

　　重（chóng）金屬沉澱：添（tiān）加硫化鈉去（qù）除銅鎳離子（zǐ）

　　絮凝過濾：聚（jù）丙烯酰胺加速（sù）沉澱 處（chù）理水達到GB8978-1996排（pái）放標準

　　金（jīn）屬預處理（lǐ）

　　金屬板材經剪裁後進入清洗線。厚度0.1-2.0mm的304不鏽鋼板在堿性脫脂槽浸泡3分鍾，溶液溫度60℃，濃度5%。水洗後測量表麵張力需達40mN/m以上。板材平整度使用激光檢測儀校驗，允（yǔn）許公差±0.3mm/m。

　　圖形轉移

　　塗布（bù）工序：

　　正性感（gǎn）光膠（jiāo）通過狹縫塗布（bù）機均勻覆蓋，濕（shī）膜厚度25±5μm。傳送帶速度1.5m/min，80℃熱風循環烘幹（gàn）15分鍾。

　　曝光（guāng）參數：

　　紫外線強度15mW/cm²，曝（pù）光時間45秒（miǎo）。真空（kōng）吸附平台確保底（dǐ）片與板材間隙<0.1mm。

　　顯影控製：

　　1%碳酸鈉（nà）溶液噴淋顯影，壓力0.15MPa，溫度25±1℃。顯影後線寬偏差≤±0.02mm。

　　化學蝕刻

　　三（sān）氯化（huà）鐵蝕刻係統包含以下單元：

　　溶液循環：濃度維持38±2波美（měi）度，流量8m³/h

　　溫度控製：45±2℃恒溫槽（cáo），鈦合金加熱管

　　噴淋壓力：0.3MPa扇形噴嘴（zuǐ），覆蓋均勻度（dù）>90% 蝕刻速率18μm/min，深（shēn）度通過時間控製，每（měi）30秒取（qǔ）樣檢測。

　　後（hòu）處理工序

　　脫膜：5%氫氧化鈉溶液（yè）60℃浸泡，時間3±0.5分鍾

　　中和：檸檬酸溶液pH值調節至6.5-7.5

　　鈍化：鉻酸鹽鈍化（huà）液浸泡120秒，形成0.5μm防護層

　　檢（jiǎn）測：白光幹涉儀測量深度（dù），CCD視覺係統檢查圖形完整性

　　工（gōng）藝能力指標（biāo）

　　項（xiàng）目參數範圍最小線寬0.05mm深（shēn）度公差（chà）±0.01mm板材厚度0.03-3.0mm蝕刻斜度1:0.8-1:1.2日產量120-150㎡

　　廢液處理

　　五金蝕刻廢液經三（sān）級處理：

　　酸堿中和：調節pH至6-9

　　重金屬沉澱（diàn）：添加硫化鈉（nà）去除銅鎳離子

　　絮凝過濾：聚丙（bǐng）烯酰胺（àn）加速沉澱 處（chù）理水達到GB8978-1996排（pái）放標準