304不（bú）鏽鋼鉻含量18-20%，鎳含量8-10.5%。316L不鏽鋼添加2-3%鉬元素，耐點蝕當量PREN≥28。典型蝕刻速率0.015-0.1mm/min，表麵粗糙（cāo）度控製（zhì）在Ra0.8-3.2μm範圍。材料退火狀態硬度≤187HB。

　　不鏽鋼蝕刻工藝流程規範

　　前處理工序

　　堿性脫脂：氫氧化鈉濃度5-8%，溫度60±5℃

　　酸洗活化（huà）：硝酸濃度15-20%，時間30-45秒

　　水洗標準：電導率≤20μS/cm

　　圖形轉移技術（shù）

　　幹（gàn）膜貼附：厚度25-50μm

　　曝光參數：波長365nm，能量80-120mJ/cm²

　　顯影控製：碳酸鈉溶液1%，時間（jiān）90-150秒

　　化學蝕（shí）刻工藝

　　蝕刻液配方：三氯化鐵38-42Be'

　　溫度控製：45±2℃

　　時間計算：深度/蝕刻速率×1.2

　　後（hòu）處理流程

　　去膜工序：氫氧化鈉溶（róng）液（yè）4-6%

　　鈍化處理：硝酸濃度20-25%，溫度50℃

　　最終檢測：白光幹涉儀測（cè）量表麵形貌

　　設備技術指標

　　蝕刻主機係統

　　槽體尺寸：2000×1200×800mm

　　加熱功率：18kW/槽

　　循環流量：5-8m³/h

　　輔（fǔ）助裝置

　　噴淋壓力（lì）：0.4-0.6MPa

　　溫控精度：±0.3℃

　　廢氣處理：NaOH噴淋+活性炭吸附

　　檢測（cè）儀器

　　三坐標測量機：精度±1.5μm

　　輪廓儀：測量範圍（wéi）±500μm

　　電子顯微鏡：放大（dà）倍數50-10000X

　　質量控製標準

　　尺寸公差（chà）

　　普通級：±0.05mm

　　精密級：±0.02mm

　　高精密：±0.01mm

　　性能測試

　　鹽霧（wù）試驗：按GB/T10125執行

　　附著力測試：ASTM D3359標（biāo）準

　　金相檢驗：GB/T 13298規範

　　典型應用領域

　　電子元器件

　　引線框架

　　金屬（shǔ）掩模板

　　接插件端子

　　精密器械

　　醫療手術工具

　　光學儀（yí）器部件

　　微型傳感器

　　工（gōng）業裝備

　　過濾篩網

　　渦輪（lún）葉片

　　熱交換器件

　　技術發展路徑

　　工藝創新

　　激光誘（yòu）導蝕刻

　　微弧氧化複合工藝

　　選（xuǎn）擇（zé）性蝕刻技術

　　設備升級

　　智能化控製係統

　　廢液再生裝置

　　在線監測模塊

　　環保改進

　　無（wú）鉻鈍化技術

　　低COD蝕刻液

　　廢（fèi）水零排（pái）放係統