光伏、鋰電等新能（néng）源器件的（de）效率提升，高度依賴蝕刻技術對材料表麵與結構的精準調控。

PERC太陽能電池背麵鈍化

• 激光（guāng）開槽+化學蝕（shí）刻：355 nm紫外激光燒蝕氮化矽層後，KOH溶液選擇性蝕刻矽形（xíng）成局部接觸孔，電池效率（lǜ）提升至23.5%。

• 黑矽製絨：金屬催化化學蝕刻（MCCE）在矽片表麵形成納（nà）米級凹坑，反射率從35%降至5%，用於雙（shuāng）麵光伏組件。

鋰電集流體蝕刻（kè）優化

• 銅箔表麵粗化：H₂SO₄/H₂O₂蝕刻液在6微米銅箔上生成（chéng）微米級粗糙（cāo）度，提升負極材料附（fù）著力（lì），電池循環壽命增加至2000次。

• 鋁箔穿孔蝕刻：幹法蝕刻加工直徑（jìng）0.1 mm通（tōng）孔，增強電解液浸潤性（xìng），快（kuài）充性能提升（shēng）30%。

氫燃料電池雙極板加工
石墨雙極板采用反應離子蝕刻（RIE）加工0.3 mm寬流道，表麵（miàn）疏水改性後水管理效率提升50%，功率密度達4 kW/L。